潔凈室工程完成后，項目經理會進行初步的驗收檢測，經常需要檢測的項目有風速、換氣次數、濕度、溫度、壓差等。當初步檢測合格后，然后，提請建設單位予以竣工驗收。
按照檢測狀態，潔凈室工程的驗收可分為空態、靜態、動態?？⒐を炇针A段的檢測宜在空態或靜態下進行，應由建設方、設計方和施工方協商確定，一般是在空態下進行；功能驗收階段的檢測應在靜態下進行。
一、空態驗收(IQ)
設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員
檢測項目：潔凈室設備的成套性、安裝質量、壓差、氣流特性、表面潔凈度、維護結構的密封性等。
二、靜態驗收(OQ)
設施已經建成，生產設備已經安裝，并開始運行，但無生產人員
檢測項目：潔凈區劃分是否符合要求；確定自凈時間參數；確定溫度和濕度的穩定性;按粒子數確定潔凈級別；確定壓差；確定照度；確定噪聲級；目視檢查氣流并檢查換氣次數。
三、動態驗收(PQ)
設施已按規定的狀態運行，有規定的人員子在場，并在商定的狀態下進行
檢測項目：驗證潔凈室分割制度；評估將溫度和相對濕度保持在規定范圍內的能力；驗證壓差；檢查潔凈室運行文件的成套性；檢查人員是否經過培訓。
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